講演情報
[9a-PB2-1]粉体ターゲットを用いたHEA薄膜作製I
〇川崎 仁晴1 (1.佐世保高専)
キーワード：
粉体ターゲット、ハイエントロピー合金、プラズマプロセス
従来研究されてきたHEAは、鋳造や焼結等のような方法で作成された固体多結晶が多く、上述の様な特徴的な効果は限定的であった。HEAを、ナノサイズの薄膜として作製できれば、量子サイズ効果と相まって，新機能発現が期待できる。我々は粉体をターゲットとしてそのまま利用して作製する粉体ターゲット成膜法を開発した。3種類の薄膜を利用して作製した薄膜のXPSによる分析結果から、薄膜には３成分が購入している事が分かった。