[9p-B31-1~8] Active Species Control, Interface Formation, and Functionalities: Perspectives Connecting Plasma and Carbon-Based Thin Films

2:10 PM - 2:40 PM JST(5:10 AM - 5:40 AM UTC)

[9p-B31-3] Growth of ultranano-crystalline diamond at low temperature by 13.56MHz inductively coupled plasma CVD method

〇Ryota Ando¹, Satoru Nagamachi¹, Natsuo tatsumi¹ (1.SEI)

Keywords:

Diamond,Coating,Carbon

我々は、13.56MHz誘導結合プラズマによる超微粒ダイヤモンド合成が可能であることを見出した。そのダイヤモンド膜を低温でかつガラス基板上への合成に成功したので、今回はその詳細について報告する。