講演情報

14:10 〜 14:40

[9p-B31-3]13.56MHz誘導結合プラズマCVDによる超微粒ダイヤモンドの低温成長

〇安藤瞭汰¹、長町学¹、辰巳夏生¹ (1.住友電工)

ダイヤモンド、コーティング、炭素

我々は、13.56MHz誘導結合プラズマによる超微粒ダイヤモンド合成が可能であることを見出した。そのダイヤモンド膜を低温でかつガラス基板上への合成に成功したので、今回はその詳細について報告する。