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[9p-E311-9]Design of AlN/ScAlN/AlN Transverse Quasi-Phase-Matched Waveguide for 230 nm Far-UV Second Harmonic Generation

〇Takumi Wada1, Yuki Takeuchi1, Meiko Shi1, Masahiro Uemukai1, Ryuji Katayama1 (1.The Univ. of Osaka)

Keywords:

Quasi-phase matching,Second harmonic generation,ScAlN

高輝度230nm遠紫外第二高調波(SH)発生に向け、大きな非線形光学定数を持つScAlNを用いたAlN/ScAlN/AlNの3層横型擬似位相整合(QPM)導波路を新たに提案・設計した。導波路構造の最適化により、極性反転なしで高次モードのSH光への変換効率を向上させた。計算の結果、TM03モードのSH光結合において、従来のAlN2層極性反転構造の1.7倍、4層極性反転の1.3倍の非線形結合係数が見込まれる。