[9p-E311-1~21] CS.7 6.1 強誘電体薄膜、15.4 Ⅲ-Ⅴ族窒化物結晶のコードシェアセッション

15:30 〜 15:45奨励賞エントリー

[9p-E311-9] 230 nm遠紫外第二高調波発生に向けたAlN/ScAlN/AlN横型擬似位相整合導波路の設計

〇和田 拓巳¹、竹内 祐樹¹、施 鳴昊¹、上向井 正裕¹、片山 竜二¹ (1.阪大院工)

キーワード：

擬似位相整合、第二高調波発生、ScAlN

高輝度230nm遠紫外第二高調波（SH）発生に向け、大きな非線形光学定数を持つScAlNを用いたAlN/ScAlN/AlNの3層横型擬似位相整合（QPM）導波路を新たに提案・設計した。導波路構造の最適化により、極性反転なしで高次モードのSH光への変換効率を向上させた。計算の結果、TM03モードのSH光結合において、従来のAlN2層極性反転構造の1.7倍、4層極性反転の1.3倍の非線形結合係数が見込まれる。