[9p-N101-1~16] 15.4 III-V-group nitride crystals

1:30 PM - 1:45 PM JST(4:30 AM - 4:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[9p-N101-1] Substrate exfoliation by Multi-Shot Laser Lift-Off for high LEE UV-C LEDs

〇Hiroya Kubo¹, Sena Miura¹, Haruto Hirota¹, Marina Fujita¹, Kenta Takase¹, Yusuke Kitamura¹, Toshihiro Hayashi¹, Tetsuya Takeuchi¹, Satoshi Kamiyama¹, Motoaki Iwaya¹, Yoshiki Saitou^1,2 (1.Meijo Univ., 2.Toyoda Gosei)

Keywords:

DUV LED,Laser Lift-Off

深紫外LEDの高効率化にはサファイア基板の剥離が有効であり、その手法としてレーザーリフトオフ（LLO）が知られている。本講演では、ArFエキシマレーザーを用いたマルチショットLLOによる基板剥離について報告する。照射領域のオーバーラップ条件が剥離挙動に与える影響を評価するとともに、得られた知見を基に大面積化を検討した結果について述べる。