[9p-PA1-1~52] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[9p-PA1-1] Investigation of layer-structure-dependent property in Ni_xZn_1-xO compound deposited by Electrostatic Spray Deposition (ESD)

〇Kanata Tanaka¹, Mutsumi Sugiyama^1,2 (1.Tokyo Univ. Sci., 2.RIST)

Keywords:

Electrostatic Spray,Nickel Oxide,wet process

本研究では、NiO/ZnO太陽電池のバンドオフセット改善に向けた中間層Ni_xZn_(1-x)O を成膜し、ESD法における原料供給条件および熱処理による層間拡散が組成の深さ方向特性に与える影響、及び薄膜のバンドギャップに及ぼす影響を検討した。