Presentation Information
[9p-PA1-34]Fabrication and Room-Temperature Operation of flexible CO2 gas sensors using Electrostatic Spray Deposition
〇Masato Inoue1, Rikuto Sekimura1, Keisuke Shibata1, Kanata Tanaka1, Mutsumi Sugiyama1,2 (1.Tokyo Univ. Sci., 2.RIST)
Keywords:
Tin Oxide,electrostatic spray,flexible device
本研究では、多様な表面形態を形成可能な静電スプレー堆積(ESD)法によってSnO2薄膜の表面形態を制御し、室温動作におけるガス反応性の向上を検討した。さらに、デバイスの実装領域を広げるアプローチとして、フレキシブル基板上にCO2ガスセンサを試作した。