講演情報
[9p-PA1-34]静電スプレー堆積(ESD)を用いたフレキシブルCO2ガスセンサの試作と室温動作に向けた検討
〇井上 雅斗1、関村 陸斗1、柴田 圭亮1、田中 哉多1、杉山 睦1,2 (1.東理大 創域理工、2.東理大 総研)
キーワード：
酸化スズ、静電スプレー、フレキシブルデバイス
本研究では、多様な表面形態を形成可能な静電スプレー堆積(ESD)法によってSnO2薄膜の表面形態を制御し、室温動作におけるガス反応性の向上を検討した。さらに、デバイスの実装領域を広げるアプローチとして、フレキシブル基板上にCO2ガスセンサを試作した。