[15a-M_135-1~9] 1.6 Ultrasonics

9:30 AM - 9:45 AM JST(12:30 AM - 12:45 AM UTC)

[15a-M_135-1] SAW propagation properties of LiNbO₃ homoepitaxial thin films

〇(B)Yuki Kodama¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Yosuke Inase², Takanori Shirai² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Shincron Co., Ltd)

Keywords:

surface acoustic wave,homoepitaxial growth,LiNbO3 thin film

LiNbO₃(LN)薄板の異種材料接合構造はSAWデバイスの高性能化に有効であるが，高周波数帯ではLN薄板の研磨によるSAW特性の劣化が懸念されている．著者らはLN基板と同じカット角でLN膜を成膜できるホモエピタキシャル成長に着目した．本報告では128°YX-LN基板上に128°YX-LN薄膜をホモエピタキシャル成長させた試料のレイリー型SAWの共振特性と周波数温度係数を評価した結果を報告する．