講演情報
[15a-M_135-1]LiNbO3ホモエピタキシャル薄膜の弾性表面波伝搬特性
〇(B)兒玉 裕己1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1、稲瀬 陽介2、白井 孝典2 (1.山梨大、2.(株)シンクロン)
キーワード：
弾性表面波、ホモエピタキシャル成長、LiNbO3薄膜
LiNbO3(LN)薄板の異種材料接合構造はSAWデバイスの高性能化に有効であるが，高周波数帯ではLN薄板の研磨によるSAW特性の劣化が懸念されている．著者らはLN基板と同じカット角でLN膜を成膜できるホモエピタキシャル成長に着目した．本報告では128°YX-LN基板上に128°YX-LN薄膜をホモエピタキシャル成長させた試料のレイリー型SAWの共振特性と周波数温度係数を評価した結果を報告する．