[15a-M_135-1~9] 1.6 Ultrasonics

10:00 AM - 10:15 AM JST(1:00 AM - 1:15 AM UTC)

[15a-M_135-3] Propagation properties of piezoelectric boundary acoustic wave on SiO₂/Ta₂O₅/Al-IDT/LiNbO₃ structure

〇(B)Teppei Ota¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Shigeyoshi Goka² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Tokyo Metropolitan Univ.)

Keywords:

piezoelectric boundary acoustic wave,surface acoustic wave

当研究グループが提案したSiO₂/Ta₂O₅/Au電極/LiNbO₃構造にて弾性境界波（PBAW）の伝搬が報告されている．しかし，Au電極の作製精度が低く，挿入損失が大きいという問題点があった．本報告では，作製が容易なAl電極を用いたSiO₂/Ta₂O₅/Al電極/LiNbO₃構造のPBAWフィルタを作製，評価した．その結果，挿入損失が9.9dBの明瞭なPBAWの応答が得られた．