[15a-M_135-1~9] 1.6 超音波

10:00 〜 10:15

[15a-M_135-3] SiO₂/Ta₂O₅/Al電極/LiNbO₃構造の弾性境界波伝搬特性

〇(B)太田 哲平¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、五箇 繁善² (1.山梨大、2.都立大)

キーワード：

弾性境界波、弾性表面波

当研究グループが提案したSiO₂/Ta₂O₅/Au電極/LiNbO₃構造にて弾性境界波（PBAW）の伝搬が報告されている．しかし，Au電極の作製精度が低く，挿入損失が大きいという問題点があった．本報告では，作製が容易なAl電極を用いたSiO₂/Ta₂O₅/Al電極/LiNbO₃構造のPBAWフィルタを作製，評価した．その結果，挿入損失が9.9dBの明瞭なPBAWの応答が得られた．