[15a-M_135-1~9] 1.6 Ultrasonics

10:30 AM - 10:45 AM JST(1:30 AM - 1:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[15a-M_135-5] Analysis of thickness-shear mode resonance properties on piezoelectric substrates with periodic voids

〇(M1)Hikaru Nakajima¹, Shumpei Kobayashi¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹ (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:

bulk acoustic wave,thickness-shear mode resonator

当研究グループで提案されたLiNbO₃(LN)薄板と支持基板との境界に周期的な空隙を有する接合構造で，LN薄板単体の板波に近い共振特性が得られることが明らかにされている．本報告では，120°Y-LNを用いた平行電界励振厚みすべり振動子(XBAR)に周期的空隙を有する接合構造を適用し，その共振特性を有限要素法により解析した結果を報告する．