講演情報
[15a-M_135-5]周期的空隙を有する圧電基板上の厚みすべり振動の共振解析
〇(M1)中島 輝1、小林 駿平1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1 (1.山梨大)
キーワード：
バルク波、厚みすべり振動子
当研究グループで提案されたLiNbO3(LN)薄板と支持基板との境界に周期的な空隙を有する接合構造で，LN薄板単体の板波に近い共振特性が得られることが明らかにされている．本報告では，120°Y-LNを用いた平行電界励振厚みすべり振動子(XBAR)に周期的空隙を有する接合構造を適用し，その共振特性を有限要素法により解析した結果を報告する．