Presentation Information

[15a-S2_202-9]Acceleration voltage dependence of bond-dissociation with Ar-GCIB irradiation

〇Daichi Kato1, Toshio Seki2, Jiro Matsuo2, Makiko Fujii3 (1.Yokohama Natl. Univ., 2.Kyoto Univ., 3.Yokohama Natl. Univ.)

Keywords:

Secondary Ion Mass Spectrometry,Cluster Ion Beam

イオンビーム照射による二次イオンの生成機構の解明に向け、試料表面起こるエネルギー授受に着目し、Ar-GCIB SIMS装置を用いて異なる加速電圧で測定を行った。サンプル分子内の特定の結合解離の様子から、一次イオンビームの照射効果について考察した。