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[15p-PA2-4]Improved thermal performance of InP-based LDs using Ag nanoparticle bonding

〇(B)Hao Peng1, Mizuki Holt1, Koki Tominaga1, Kazuhiko Shimomura1 (1.Sophia Univ.)

Keywords:

Semiconductor Laser Diode,Silicon Photonics,Bonding

Si基板上へのInP系光デバイス異種集積では、自己加熱に起因する室温CW動作の再現性向上が課題である。そこで本研究では、半導体レーザ素子を銀ナノ粒子を用いてCu板へボンディングし、放熱改善による発振特性(slope効率、Duty比)の向上を検討した。