Presentation Information
[15p-PB2-22]Practical training in semiconductor device fabrication and electrical circuits using it
〇Takeshi Kanashima1, Ryotaro Kawahara1, Mikuto Kuroda1, Sorataro Agario1, Yuma Hiramatsu1, Kenji Kasahara1 (1.Kindai Univ.)
Keywords:
semiconductor,hands-on training environment
半導体人材教育に向けて，学生が自ら操作できる簡易装置を用いた半導体プロセス実習環境を構築した．ここでは，pn接合ダイオードの作製から整流回路の組立までを実施し，前工程・後工程を含む一連の流れを学習可能にした．フォトマスク設計，簡易クリーンブースでのフォトリソグラフィ，熱拡散，電極形成，パッケージ化を経て，ブレッドボード上で回路動作を確認．これにより，学部学生が半導体の基礎から応用までを体験できる教育環境を実現した．