講演情報
[15p-PB2-22]半導体デバイス作製実習環境の構築とそれを用いた電子回路実習
〇金島 岳1、川原 遼太朗1、黒田 未玖人1、上尾 空大朗1、平松 侑馬1、笠原 健司1 (1.近大産業理工)
キーワード：
半導体、実習環境
半導体人材教育に向けて，学生が自ら操作できる簡易装置を用いた半導体プロセス実習環境を構築した．ここでは，pn接合ダイオードの作製から整流回路の組立までを実施し，前工程・後工程を含む一連の流れを学習可能にした．フォトマスク設計，簡易クリーンブースでのフォトリソグラフィ，熱拡散，電極形成，パッケージ化を経て，ブレッドボード上で回路動作を確認．これにより，学部学生が半導体の基礎から応用までを体験できる教育環境を実現した．