[15p-S2_202-1~10] CS.1 Code-sharing Session of 2.3 & 7.4

2:15 PM - 2:30 PM JST(5:15 AM - 5:30 AM UTC)

[15p-S2_202-2] Development of a Filament-type PIG Ion Source for a Several-100 keV Compact Ion Microbeam System

〇Yasuyuki Ishii¹, Takeru Ohkubo¹ (1.QST Takasaki)

Keywords:

filament type PIG ion source,compact ion microbeam system,ion microbeam

本研究では、小型の数100keVイオンマイクロビーム装置の開発を行っている。この装置のイオン源として、サマリウムコバルトの永久磁石、アンチカソードにタングステン細線を使用し、小消費電力、無冷却で動作できる小型のフィラメント型のペニング・イオン化・ゲージ型イオン源を開発している。発表では、フィラメントのON/OFFでのイオンビームの発生の違い等に関して、イオン源の概略説明を含めて報告する。