[15p-S2_202-1~10] CS.1 2.3 加速器技術・加速器質量分析・ビーム分析、7.4 イオンビーム一般のコードシェアセッション

14:15 〜 14:30

[15p-S2_202-2] 数100keV小型イオンマイクロビーム装置用フィラメント型PIGイオン源の開発

〇石井 保行¹、大久保 猛¹ (1.QST高崎)

キーワード：

フィラメント型PIGイオン源、小型イオンマイクロビーム装置、イオンマイクロビーム

本研究では、小型の数100keVイオンマイクロビーム装置の開発を行っている。この装置のイオン源として、サマリウムコバルトの永久磁石、アンチカソードにタングステン細線を使用し、小消費電力、無冷却で動作できる小型のフィラメント型のペニング・イオン化・ゲージ型イオン源を開発している。発表では、フィラメントのON/OFFでのイオンビームの発生の違い等に関して、イオン源の概略説明を含めて報告する。