[15p-W9_326-1~15] 7.1 X-ray technologies

2:15 PM - 2:30 PM JST(5:15 AM - 5:30 AM UTC)

[15p-W9_326-4] Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy of a Multilayer Mirror Material Mo₂N

〇Taishi Tsutsui¹, Naoki Hayase², Tetsuo Harada¹, Hirosuke Sumida², Satoru Suzuki¹ (1.LASTI, Univ. of Hyogo, 2.Mazda Motor Corp)

Keywords:

Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy,HAXPES,Mo2N

Moおよびその窒化物は、EUV光などの多層膜ミラーの構成材料として用いられている。 ところでMoの窒化物の光電子分光においては、Mo 3p_3/2とN 1sの結合エネルギー位置がほぼ重なってしまうという問題がある。このため代表的なMoの窒化物であるMo₂Nの過去の報告においても、これらのピークの帰属が一致していない例が見受けられる。またこれらの研究では、一般的なAlあるいはMg Ka X線が光源として用いられてきた。今回我々は、より検出深さの大きい硬X線光電子分光 (HAXPES)によりMo₂Nを調べた。