[15p-W9_326-1~15] 7.1 X線技術

14:15 〜 14:30

[15p-W9_326-4] 多層膜ミラー材料Mo₂Nの硬X線光電子分光

〇筒井 大志¹、早勢 直紀²、原田 哲男¹、住田 弘祐²、鈴木 哲¹ (1.兵庫県立大高度研、2.マツダ（株）)

キーワード：

硬X線光電子分光、HAXPES、Mo₂N

Moおよびその窒化物は、EUV光などの多層膜ミラーの構成材料として用いられている。 ところでMoの窒化物の光電子分光においては、Mo 3p_3/2とN 1sの結合エネルギー位置がほぼ重なってしまうという問題がある。このため代表的なMoの窒化物であるMo₂Nの過去の報告においても、これらのピークの帰属が一致していない例が見受けられる。またこれらの研究では、一般的なAlあるいはMg Ka X線が光源として用いられてきた。今回我々は、より検出深さの大きい硬X線光電子分光 (HAXPES)によりMo₂Nを調べた。