[16a-M_110-1~9] 3.2 Information photonics and image engineering

10:00 AM - 10:15 AM JST(1:00 AM - 1:15 AM UTC)

[16a-M_110-3] Single pixel BRDF imaging: Simultaneous identification method for curved shape and roughness of object surface

〇Shotaro Oka¹, Kenta Takanashi¹, Hiroshi Ohno¹ (1.Toshiba Corp.)

Keywords:

BRDF,single pixel,optical inspection

様々な製造工程の外観検査において、物体表面が曲率をもつ場合、その曲面形状（傾きの分布）と、その曲面における数μm以下の高低差の表面粗さを識別することは困難であった。筆者らは、表面粗さによってBRDF（双方向反射率分布関数）の角度分散が大きく変動することに注目し、これを利用して曲面の傾きと表面粗さを同時識別する手法を構築した。本手法は、様々な製造工程の外観検査に有効であると考えられる。