講演情報
[16a-M_110-3]シングルピクセルBRDFイメージング：物体表面の曲面形状と表面粗さの同時識別手法
〇岡 将太郎1、高梨 健太1、大野 博司1 (1.(株)東芝 総研)
キーワード：
双方向反射率分布関数、シングルピクセル、光学検査
様々な製造工程の外観検査において、物体表面が曲率をもつ場合、その曲面形状（傾きの分布）と、その曲面における数μm以下の高低差の表面粗さを識別することは困難であった。筆者らは、表面粗さによってBRDF（双方向反射率分布関数）の角度分散が大きく変動することに注目し、これを利用して曲面の傾きと表面粗さを同時識別する手法を構築した。本手法は、様々な製造工程の外観検査に有効であると考えられる。