[16a-M_278-1~7] 6.1 Ferroelectric thin films

9:15 AM - 9:30 AM JST(12:15 AM - 12:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[16a-M_278-2] Effect of Mn Substitution on the Electrical Conduction Properties of ZnO-based Ferroelectric Thin Films

〇Sota Inoue¹, Yu Ukezeki¹, Hiroya Oiso¹, Norifumi Fujimura¹, Takeshi Yoshimura¹ (1.Osaka Metro. Univ.)

Keywords:

ferroelectric thin film,wurtzite structure,electrical conduction properties

ZnO系強誘電体に関する研究はAlNへのScドープで強誘電性が発現したことを契機に進められてきた。特に、CeとMnを共置換したZnO薄膜についてはCeによる結晶構造の歪みに起因して強誘電性が発現することが報告されている。Ce-Mn共置換ZnO薄膜においてMnは絶縁性の向上に寄与していると考えられるが、その伝導挙動の変化については明らかではない。そこで本研究ではMnの置換量を変化させたCe-Mn共置換ZnO薄膜の電気伝導特性の評価を行った。