[16a-M_278-1~7] 6.1 強誘電体薄膜

9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[16a-M_278-2] ZnO系強誘電体薄膜の電気伝導特性におけるMn置換の効果

〇井上 颯太¹、請関 優¹、大磯 裕也¹、藤村 紀文¹、吉村 武¹ (1.阪公大院工)

キーワード：

強誘電体薄膜、ウルツ鉱型構造、電気伝導特性

ZnO系強誘電体に関する研究はAlNへのScドープで強誘電性が発現したことを契機に進められてきた。特に、CeとMnを共置換したZnO薄膜についてはCeによる結晶構造の歪みに起因して強誘電性が発現することが報告されている。Ce-Mn共置換ZnO薄膜においてMnは絶縁性の向上に寄与していると考えられるが、その伝導挙動の変化については明らかではない。そこで本研究ではMnの置換量を変化させたCe-Mn共置換ZnO薄膜の電気伝導特性の評価を行った。