[16a-M_B07-1~9] 9.1 Dielectrics, ferroelectrics

9:45 AM - 10:00 AM JST(12:45 AM - 1:00 AM UTC)

[16a-M_B07-4] Study on the electromigration of the oxygen vacancy induced by degradation and annealing of Multi-layer Ceramic Capacitor by Kelvin-probe Force Microscopy

〇Maiko Nagayoshi^1,2, Kei Kobayashi² (1.Kyocera Corp., 2.Kyoto Univ.)

Keywords:

MLCC,SPM,KFM

積層セラミックコンデンサ（MLCC）の信頼性に影響する酸素空孔の移動を調べるために、ケルビンプローブフォース顕微鏡（KFM）による電位分布測定を行った。MLCC を 200^oC 以上の高温高電界下で分極させ、その後に 200^oC 以上で熱処理した。分極前、分極後、熱処理後の試料で外部電圧を印加しながら電位分布を測定した。各段階における電位分布の変化から、酸素空孔の移動について考察を行った。