Presentation Information
[16a-PA5-3]Effect of precursor properties during sulfurization and cooling rate after sulfurization on SnS thin films
〇Kazushi Ogo1, Taketo Tsuchiyama1, Haruki Ryu1, Mutsumi Sugiyama1,2 (1.Tokyo Univ. Sci., 2.RIST)
Keywords:
Tin Sulfide,sulfurization,cooling rate after deposition
本研究では、スパッタ時の基板温度及び硫化処理前のアニール条件を変化させたSnSプリカーサを硫化することで、硫黄の拡散の挙動を制御し、異相形成や表面形態へ与える影響を検討した。さらに、硫化処理後の冷却過程においても、硫黄の拡散や異相形成に影響を与えると考えられることから、硫化処理における冷却プロセスについても検討した。