[16a-S4_203-1~12] 7.2 Applications and technologies of electron beams

9:45 AM - 10:00 AM JST(12:45 AM - 1:00 AM UTC)

[16a-S4_203-4] Development of high-speed recordable direct electron detectors using SOI technology Ⅲ

〇Yuichi Ishida¹, Takafumi Ishida^1,2, Makoto Kuwahara^1,2, Yasuo Arai³, Koh Saitoh^1,2 (1.Grad. Sch. of Eng., Nagoya Univ., 2.IMaSS, 3.KEK)

Keywords:

transmission electron microscopy,SOI pixel detector

透過電子顕微鏡(TEM)は、ナノメートルスケールの試料を拡大しながら動的現象を観察できる装置である。マイクロ秒からサブピコ秒スケールの動的現象の時間分解観察には、パルス電子線TEMが用いられるが、カメラのみで高速現象を記録する手法は確立されていない。我々は電子線に対して高い検出効率をもつSOI検出器にピクセル内メモリを搭載した高速電子検出カメラの開発を進めている。本発表では、開発した試作2号機とパルス電子線TEMを用いて時間分解能電子線イメージングを実施した結果について報告する。