[16p-M_135-1~14] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

2:45 PM - 3:00 PM JST(5:45 AM - 6:00 AM UTC)

[16p-M_135-3] [The 59th Young Scientist Presentation Award Speech] Enhancement of Sensitivity by Sample Vibration Excitation in Resistivity Measurement for Non-Magnetic Material Using MFM

〇Kazuma Okamoto¹, Takumi Imura¹, Naruto Nakamura¹, Satoshi Abo¹, Katsuhisa Murakami², Masayoshi Nagao², Fujio Wakaya¹ (1.UOsaka, 2.AIST)

Keywords:

magnetic force microscopy,phase difference,non-magnetic material

磁気力顕微鏡を用いて非磁性体試料を計測する場合、試料に流れた渦電流により発生した磁場から受ける力の影響により、試料の抵抗率に依存した位相差の検出が可能であることを見いだした。この現象は半導体の不純物濃度の非接触計測に応用できるが、現状では感度が低いことが課題である。渦電流を大きくするために試料を振動させた時の位相差を数値解析および実験の両方から検証し、感度がよくなることを明らかにした。