講演情報
[16p-M_135-3][第59回講演奨励賞受賞記念講演] 磁気力顕微鏡を用いた非磁性体抵抗率計測の試料加振による感度向上
〇岡本 一真1、居村 拓弥1、仲村 成翔1、阿保 智1、村上 勝久2、長尾 昌善2、若家 冨士男1 (1.阪大基礎工、2.産総研)
キーワード：
磁気力顕微鏡、位相差、非磁性体
磁気力顕微鏡を用いて非磁性体試料を計測する場合、試料に流れた渦電流により発生した磁場から受ける力の影響により、試料の抵抗率に依存した位相差の検出が可能であることを見いだした。この現象は半導体の不純物濃度の非接触計測に応用できるが、現状では感度が低いことが課題である。渦電流を大きくするために試料を振動させた時の位相差を数値解析および実験の両方から検証し、感度がよくなることを明らかにした。