Presentation Information
[16p-PB1-1]Investigation of high-quality n-type diamond synthesized with tert-butylphosphine
〇Hiromu Nakagawa1, Riku Kawase1, Hiroyuki Kawashima1, Shoma Yamaguchi1, Hiromitsu Kato2, Norio Tokuda3, Satoshi Yamasaki3, Masahiko Ogura2, Toshiharu Makino2, Ei Shigematsu1,4, Naoya Morioka1,4, Norikazu Mizuochi1,4 (1.Kyoto Univ., 2.AIST, 3.Kanazawa Univ., 4.Kyoto Univ. CSRN)
Keywords:
n-type diamond,electron mobility,spin coherence time
ダイヤモンドはパワー半導体や量子センサの材料として期待されており、特にn型ダイヤモンドの高品質化が重要である。本研究では、従来のリン源であるホスフィンより毒性の小さいtert-butylphosphineを用いたn型ダイヤモンドにおいて、Hall測定等の電気伝導特性の評価ならびにスピンコヒーレンス時間(T2)の測定による量子特性の評価を実施した。発表では、電気特性評価の詳細についても議論する。