講演情報
[16p-PB1-1]tert-butylphosphineを用いたn型ダイヤモンドの高品質化に向けた研究
〇中川 大夢1、川瀬 凛久1、川島 宏幸1、山口 翔真1、加藤 宙光2、徳田 規夫3、山崎 聡3、小倉 政彦2、牧野 俊晴2、重松 英1,4、森岡 直也1,4、水落 憲和1,4 (1.京大化研、2.産総研、3.金沢大、4.京大CSRN)
キーワード：
n型ダイヤモンド、電子移動度、スピンコヒーレンス時間
ダイヤモンドはパワー半導体や量子センサの材料として期待されており、特にn型ダイヤモンドの高品質化が重要である。本研究では、従来のリン源であるホスフィンより毒性の小さいtert-butylphosphineを用いたn型ダイヤモンドにおいて、Hall測定等の電気伝導特性の評価ならびにスピンコヒーレンス時間(T2)の測定による量子特性の評価を実施した。発表では、電気特性評価の詳細についても議論する。