Presentation Information
[16p-PB1-3]Formation of DLC layer on the surface of organic materials by ion implantation
〇Rion Matsumi1, Yuge Kaiko1, Tatemichi Junichi1, Fujimoto Ryugo1, Satoko Okubayashi2, Shinji Nagamachi3 (1.Nissin Ion Equipment, 2.Kyoto Inst. of Tech., 3.Nagamachi Science Lab.)
Keywords:
Diamond-Like Carbon,polymeric materials,ion implantation
ガスバリア性、高硬度など様々な特性を有するDLCは特定の材料に成膜することで広い分野での活躍が期待されている。近年、我々は表面改質を目的とした大電流イオン注入装置を開発し、用途の一つとして有機材料へのDLC層形成に着目した。今回はPET等の樹脂フィルムへの窒素イオン注入(N+)により形成したDLC層を様々な観点から評価を行ったので報告する。