講演情報
[16p-PB1-3]イオン注入による有機材料表面へのDLC層の形成
〇松見 里音1、弓削 凱晃1、立道 潤一1、藤本 龍吾1、奥林 里子2、長町 信治3 (1.日新イオン機器、2.京都工芸繊維大学、3.長町サイエンスラボ)
キーワード：
ダイヤモンドライクカーボン（DLC）、高分子材料、イオンビーム
ガスバリア性、高硬度など様々な特性を有するDLCは特定の材料に成膜することで広い分野での活躍が期待されている。近年、我々は表面改質を目的とした大電流イオン注入装置を開発し、用途の一つとして有機材料へのDLC層形成に着目した。今回はPET等の樹脂フィルムへの窒素イオン注入(N+)により形成したDLC層を様々な観点から評価を行ったので報告する。