Presentation Information
[16p-PB4-31]Construction and Evaluation of a Calibration Curve for Graphene Layer Number Based on Raman Peak Intensity Analysis
〇Yuki Chigira1, Satoshi Kanda1, Shunji Kurosu5, Yuma Yoshinaga2, Satoshi Moriyama2, Kazuki Nishibara3, Takayuki Arie3, Kenji Watanabe4, Takashi Taniguchi4, Tatsuro Hanajiri1,5, Toru Maekawa5, Ryota Negishi1,5 (1.Toyo Univ., 2.Tokyo Denki Univ., 3.Osaka Metro Univ., 4.NIMS, 5.BNC)
Keywords:
Graphene,Raman,Number of Layers Evaluation
二次元層状物質は層数 により物性が大きく変化するため 、その評価手法の確立は重要である。
従来の手法として、光学顕微鏡観察や透過型電子顕微鏡測定などが用いられてきたが、光学顕微鏡は基板依存性が高く、TEMは試料加工を要するため非破壊評価には適さない 。そこで本研究では、グラフェンを対象に 、ラマンスペクトルを用いた非破壊かつ簡便な層数評価手法 を 検討した。
従来の手法として、光学顕微鏡観察や透過型電子顕微鏡測定などが用いられてきたが、光学顕微鏡は基板依存性が高く、TEMは試料加工を要するため非破壊評価には適さない 。そこで本研究では、グラフェンを対象に 、ラマンスペクトルを用いた非破壊かつ簡便な層数評価手法 を 検討した。