Presentation Information
[17a-M_374-12]Fabrication and Characterization of (110)-Oriented Co2(Fe,Mn)Si Epitaxial Thin Films
〇Tianbao Guo1, Takayuki Hojo1, Daisuke Amiie1, Mikihiko Oogane1,2 (1.Tohoku Univ. Eng., 2.CSIS, Tohoku Univ.)
Keywords:
TMR sensor,Co-based Heusler alloy,(110)-oriented epitaxial thin film
高感度 TMR センサ用電極材料を目的として、(110) 配向 Co₂(Fe,Mn)Si エピタキシャル薄膜を作製し、組成 x および退火温度 Ta に依存した結晶構造および磁気特性を XRD、VSM により評価した。(110) 配向成長と一軸磁気異方性は広い条件で確認され、特定の組成・熱処理条件下において磁気異方性定数 |K₁| が 0 近傍まで低下する領域が明らかとなった。
