Presentation Information
[17a-M_374-8]Development of vortex-type TMR sensor for small-sized quantum proton magnetometer
〇(B)Aru Sakamoto1, Seiya Takano1, Takafumi Nakano1, Mikihiko Oogane1,2 (1.Tohoku Univ., 2.CSIS Tohoku Univ.)
Keywords:
quantum proton magnetometer,TMR sensor,vortex
本研究では,量子プロトン磁力計の小型化を目的として,漏洩磁場の小さいVortex型トンネル磁気抵抗(TMR)センサの開発を行った.Vortex構造を有するMTJアレイ素子を作製し,磁気抵抗特性および磁気分解能を評価した.その結果,Vortex構造を維持した状態でMR比160%を確認し,磁気分解能270 pT/√Hzを確認した.本結果は,少量水試料NMR検出に向けたTMRセンサ応用の有効性を示すものである.
