[17a-M_374-1~12] 10.3 スピンデバイス・磁気メモリ・ストレージ技術

10:45 〜 11:00奨励賞エントリー

[17a-M_374-8] 量子プロトン磁力計の小型化に向けたVortex型TMRセンサの開発

〇(B)坂本 有瑠¹、高野 星哉¹、中野 貴文¹、大兼 幹彦^1,2 (1.東北大院工、2.東北大CSIS)

キーワード：

量子プロトン磁力計、TMRセンサ、磁気渦

本研究では，量子プロトン磁力計の小型化を目的として，漏洩磁場の小さいVortex型トンネル磁気抵抗（TMR）センサの開発を行った．Vortex構造を有するMTJアレイ素子を作製し，磁気抵抗特性および磁気分解能を評価した．その結果，Vortex構造を維持した状態でMR比160%を確認し，磁気分解能270 pT/√Hzを確認した．本結果は，少量水試料NMR検出に向けたTMRセンサ応用の有効性を示すものである．