Presentation Information
[17a-PA1-37]Automatic measurement system of resistivity distribution for wafer samples
〇Yuki Kuramochi1, Takaaski Hasumi1, Mizuno Masaomi1, Ryo Ando2, Ryota Uesugi1, Takashi Komine1 (1.Ibaraki Univ., 2.Ibaraki College.)
Keywords:
Composition graded sample,Combinatorial deposition,Distribution measurement
SnTeはSn欠損により 1020cm-3 程度の高いキャリア密度を示すが、Inドープによりこれを低減できることが報告されており、キャリア密度制御による熱電性能の最適化が期待される。本研究では、4インチガラスウエハ上の抵抗率分布を測定するシステムを構築し、コンビナトリアルスパッタで作製したIn–Sn–Te組成傾斜試料と組み合わせることで、効率的な材料スクリーニングができることを示す。