講演情報
[17a-PA1-37]ウエハ試料の抵抗率分布自動測定システム
〇倉持 祐希1、蓮見 剛昭1、水野 将臣1、安藤 亮2、上杉 良太1、小峰 啓史1 (1.茨城大工、2.茨城高専)
キーワード：
組成傾斜試料、コンビナトリアル成膜、分布測定
SnTeはSn欠損により 1020cm-3 程度の高いキャリア密度を示すが、Inドープによりこれを低減できることが報告されており、キャリア密度制御による熱電性能の最適化が期待される。本研究では、4インチガラスウエハ上の抵抗率分布を測定するシステムを構築し、コンビナトリアルスパッタで作製したIn–Sn–Te組成傾斜試料と組み合わせることで、効率的な材料スクリーニングができることを示す。