Presentation Information
[17a-PA1-38]Thermoelectric properties distribution in combinatorial compositionally graded films
〇Takaaki Hasumi1, Yuki Kuramochi1, Masaomi Mizuno1, Ryo Ando2, Ryota Uesugi1, Takashi Komine1 (1.Ibaraki Univ., 2.Ibaraki College.)
Keywords:
thermoelectric conversion,combinatorial compositionally graded films,distribution measurement
本研究では，高性能熱電材料を効率的に探索する手法として，コンビナトリアル組成傾斜膜における熱電物性の分布測定を検討した．Bi–SbおよびBi–Teターゲットを用いてコスパッタにより4インチのガラスウェハ上にBi–Sb–Te組成傾斜膜を効率的に作製した．ゼーベック係数を効率的に測定するための自動プロービングシステムを作製した．ゼーベック係数および抵抗の分布を短時間で取得でき，本手法の有効性を明らかにした．