講演情報
[17a-PA1-38]コンビナトリアル組成傾斜膜における熱電物性の分布測定
〇蓮見 剛昭1、倉持 祐希1、水野 将臣1、安藤 亮2、上杉 良太1、小峰 啓史1 (1.茨城大学工、2.茨城高専)
キーワード：
熱電変換、コンビナトリアル組成傾斜膜、分布測定
本研究では，高性能熱電材料を効率的に探索する手法として，コンビナトリアル組成傾斜膜における熱電物性の分布測定を検討した．Bi–SbおよびBi–Teターゲットを用いてコスパッタにより4インチのガラスウェハ上にBi–Sb–Te組成傾斜膜を効率的に作製した．ゼーベック係数を効率的に測定するための自動プロービングシステムを作製した．ゼーベック係数および抵抗の分布を短時間で取得でき，本手法の有効性を明らかにした．