Presentation Information
[17a-PA3-11]Development of SUS UHV Transfer Case for Sample Transport Using Titanium NEG Sheet
〇Yuko Morohashi1, Junichiro Kamiya1, Kenichi Takeishi1,2 (1.JAEA, 2.ULVAC TECHNO,Ltd)
Keywords:
UHV transfer case,NEG Coating,no battery
試料輸送用真空トランスファーケースは半導体・表面科学等で表面状態を維持して搬送する際に使用されるが、従来はポンプ・電源併用で大型化する。SUSケースにNEGコーティングチタン板（NEGシート）を内蔵し活性化後の性能を評価した。TMP併用で4.6×10-8 Paに到達し、切り離し後も5日間2.0×10-7 Paを維持した。この結果から、NEGシート内蔵SUSトランスファーケースにより、既存SUS筐体をベースとした電源不要UHV輸送の実現可能性が示された。