講演情報
[17a-PA3-11]チタンNEGコーティングシートを用いた試料輸送用超高真空トランスファーケースの開発
〇諸橋 裕子1、神谷 潤一郎1、武石 健一1,2 (1.原子力機構、2.アルバックテクノ)
キーワード：
超高真空トランスファーケース、NEGコーティング、ノーバッテリー
試料輸送用真空トランスファーケースは半導体・表面科学等で表面状態を維持して搬送する際に使用されるが、従来はポンプ・電源併用で大型化する。SUSケースにNEGコーティングチタン板（NEGシート）を内蔵し活性化後の性能を評価した。TMP併用で4.6×10-8 Paに到達し、切り離し後も5日間2.0×10-7 Paを維持した。この結果から、NEGシート内蔵SUSトランスファーケースにより、既存SUS筐体をベースとした電源不要UHV輸送の実現可能性が示された。