Presentation Information
[17a-PA3-13]Development of measurement accuracy evaluation technology for Kelvin probe measurement method
〇Shouzou Matsumoto2, Masahiro Ohara1, Guofu Zheng2, Hiromitsu Furuhasi2 (1.Shinshu Univ, 2.ALS Tech)
Keywords:
Kelvin Probe,Rotary Kelvin Probe
KP(Kelvin probe)測定法について、これまで測定するVcpd(Contact potential difference)値の分解能（バラツキ）は検討・評価され機器毎に性能規程などされてきたが、肝心の測定Vcpd値の精度については評価されていない問題があった。
今回、実際のデバイスの層中や界面のエネルギー解析に必要な精度等に鑑み、Vcpd値が1ｍV～7.0Vの範囲で±10％以下の精度で評価できる技術を開発した。
今回、実際のデバイスの層中や界面のエネルギー解析に必要な精度等に鑑み、Vcpd値が1ｍV～7.0Vの範囲で±10％以下の精度で評価できる技術を開発した。