講演情報
[17a-PA3-13]Kelvin probe測定法における測定精度評価技術の開発
〇松本 鐘三2、大原 正裕1、鄭 国富2、古橋 弘光2 (1.信州大工、2.エイエルエステク)
キーワード：
ケルビンプローブ、回転型ケルビンプローブ
KP(Kelvin probe)測定法について、これまで測定するVcpd(Contact potential difference)値の分解能（バラツキ）は検討・評価され機器毎に性能規程などされてきたが、肝心の測定Vcpd値の精度については評価されていない問題があった。
今回、実際のデバイスの層中や界面のエネルギー解析に必要な精度等に鑑み、Vcpd値が1ｍV～7.0Vの範囲で±10％以下の精度で評価できる技術を開発した。
今回、実際のデバイスの層中や界面のエネルギー解析に必要な精度等に鑑み、Vcpd値が1ｍV～7.0Vの範囲で±10％以下の精度で評価できる技術を開発した。