Presentation Information
[17a-PA3-8]Chemical State Analysis of MnTe Thin Films Using X Ray photoelectoron Spectroscopy
〇Yuma Hanafusa1, Shota Awaduhara1,2, Shogo Kakimoto1,2, Masashi Kuwahara2, Kunio Okimura4, Joe Sakai3, Satoshi Katano1, Fumitaka Sakamoto1 (1.Toyo Univ., 2.Sanso Inst., 3.Toshima Manufacturing., 4.Tokai Univ.)
Keywords:
MnTe,Phase change material,photoelectron spectroscopy
MnTeは外部刺激によって、複数の結晶相間で相転移を示す相転移材料として注目されている。加熱により酸化や組成ずれが生じることが知られている。本研究では、SiO₂保護膜が加熱時のMnTeの化学状態に与える影響をXPSで評価した。その結果、保護膜付き試料ではMnTeが保持された一方、保護膜なしでは加熱により完全に酸化しTeO₂が生成した。保護膜が加熱中のMnTe酸化防止に有効であることを示した。