講演情報

[17a-PA3-8]X線光電子分光法を用いたMnTe薄膜の化学状態解析

〇英 友真1、粟津原 奨太1,2、柿本 翔吾1,2、桑原 正史2、沖村 邦雄4、坂井 穣3、片野 諭1、坂本 文孝1 (1.東洋大理工、2.産総研、3.豊島製作所、4.東海大工)

キーワード:

MnTe、相転移材料、光電子分光法

MnTeは外部刺激によって、複数の結晶相間で相転移を示す相転移材料として注目されている。加熱により酸化や組成ずれが生じることが知られている。本研究では、SiO₂保護膜が加熱時のMnTeの化学状態に与える影響をXPSで評価した。その結果、保護膜付き試料ではMnTeが保持された一方、保護膜なしでは加熱により完全に酸化しTeO₂が生成した。保護膜が加熱中のMnTe酸化防止に有効であることを示した。